QSense® ALD(原子层沉积)样品架设计用于在真空或气相中进行QCM-D测量。

产品简介

ALD样品架的设计是芯片两侧开放,可防止芯片两侧的压力变化不均匀,因而可以在低/高气压环境下进行测量。ALD样品架通过线缆连接到样品台。测量信号通过两个独立的线缆穿过各种低压或者高压腔体传送到QCM-D电子单元。

ALD样品架可与QSense® Explorer、QSense® Analyzer和QSense® Pro的电子单元兼容。