产品详情

 

Theta Wafer晶圆接触角测量仪是一款高端的晶圆全自动接触角测量仪器。该仪器包括Theta Flow光学接触角测量仪主机，可配置四个具有软件控制、可水平移动、可抛弃滴液头的自动滴液器，以及带自动旋转的全自动XYZ样品台。

  Theta Wafer晶圆接触角测量仪

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晶圆上的接触角测量对于评估这些材料的润湿性和表面特性至关重要，这些材料广泛应用于电子制造。通过评估液滴与晶片表面接触的角度，研究人员可以深入了解硅的表面能和粘附性能。这些信息对于优化半导体制造中的涂层、光刻和键合等工艺至关重要。了解接触角有助于确保晶片与生产过程中使用的各种材料之间的预期相互作用，最终提高电子设备的性能和可靠性。

 

应用

  • 研究表面清洁度

接触角测量可以评估晶圆的清洁度，从而来评估表面污染物和残留物的去除情况。

  • 确定表面自由能

通过测量接触角，可以推断出表面自由能，这对于理解其他材料如何与晶圆相互作用至关重要。

  • 了解粘附性能

接触角有助于确定应用于晶圆的涂层和薄膜的粘附性能。

  • 研究亲水性/疏水性

测量接触角可以确定晶圆表面是亲水还是疏水，从而影响光刻和蚀刻等工艺。

  • 用于质量控制

定期的接触角测量可以作为质量控制过程的一部分，以确保晶圆加工和处理的一致性。

 

支持晶圆接触角测量的软件功能

  • 批量模式，用于对一排多个晶圆进行快速测量。
  • 标准座滴法，可进行更深入的分析。

 

晶圆自动旋转台

Theta Wafer 晶圆样品台是一种由软件控制的电动平台，用于旋转晶圆，以实现直径高达12英寸晶圆的接触角自动定位测量。

 

Theta Wafer 晶圆样品台包括旋转台（T340R）和晶圆台面（T340RW）。晶圆台面的插销有助于晶圆的高精度对准和定位。定位销还有助于在测量过程中将晶圆保持在适当的位置。为了进一步固定晶圆，还可以通过内置的真空连接口连接到真空泵。

 

Theta Wafer 晶圆样品台连接到自动XYZ样品台，可以自动定位直径高达12英寸的晶圆。为了最大限度地提高旋转台的性能，建议将其与四个可抛弃滴液头滴液器结合使用。这将允许自动进行表面自由能测量，或者在只使用水的情况下增加连续的测量次数。

 

产品参数

测量参数

表面张力，界面张力，接触角，表面自由能

相机分辨率上限(像素)

2592*2048(5 MP)

拍照速度上限（FPS）

3422

旋转移动范围

0-360°

最大转速

180°/s

分辨率

0.005°

精度

±0.1°
   

样品规格

适合的样品尺寸

2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圆

最大样品重量

500g

其他

真空泵连接

是

接触角的自动定位

是

 

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